EDC-500 Serisi | Kütle Akış Kontrol
EDC-510A/B Kütle Akış Kontrol Cihazı ve Ölçüm Cihazı
EDC-510A/B Kütle Akış Kontrol Cihazı ve Ölçüm Cihazları
- Tam Ölçekli Akış Aralığı: 3sccm-10sccm
- Maksimum Basınç Değeri: 500 Psi / 30 Bar
- Tekrarlanabilirlik: ±0,2% FS
- Kontrol Aralığı: %1~100 FS
- Yanıt Süresi: <1 saniye
- Çalışma Sıcaklığı: 0~50℃
- Dijital İletişim: RS-485
- Analog İletişim: 0~5 V / 4~20mA
EDC-510A/B Kütle Akış Kontrol Cihazı ve Ölçüm Cihazlarının Tanımı
Önceki nesil gelişmiş “sıcaklık farkı otomatik dengeleme teknolojisi” sensörlerinin kullanımına ek olarak, EDC-500 serisi ayrıca ultra yüksek kararlılık ve doğruluk ölçüm sensörlerini hızlı, hassas kontrol vanaları ve güçlü elektronik bileşenlerle birleştirir. Birlikte hassas gaz proses kontrolü sağlarlar. Yüksek bütünlüklü ultra yüksek saflıkta tamamen metal akış yolu ve uzun vadeli etkili sızdırmazlık performansı, prosesin saflığını garanti eder. EDC-500 serisi, yarı iletken endüstrisi ve yüksek saflıkta gaz uygulamaları için çok uygundur.
Biosflows EDC-510A/B Kütle Akış Kontrol Cihazı ve Ölçüm Cihazlarının Teknik Parametreleri
| Performans | |
|---|---|
| Akış Doğruluğu | ±0,8% RD ve ±0,2% FS |
| Tekrarlanabilirlik | ±0,2% FS |
| Kontrol Aralığı | 1~100% FS |
| Yanıt Süresi | <1s |
| Sıcaklık Katsayısı | Sıfır: FS/℃'nin %0,05'inden az. Aralık: SP/℃'nin %0,1'inden az. |
| Basınç Katsayısı | SP / Bar'ın %0,2'si |
| Çalışma Sıcaklığı | 0~50℃ |
| Sızıntı Oranı | 1x10-11 atm. cc/sn He |
| Ön Isıtma Süresi | 5 dakikada ±%2 FS doğruluk (en iyi doğruluğa ulaşmak için 30 dakika) |
| Elektriksel Parametreler | |
| Güç Kaynağı | +15~24 V doğru akım |
| Maksimum Güç Tüketimi | 10W (MFC); 3W (MFM) |
| Dijital İletişim | RS-485 / DeviceNet |
| Analog İletişim | 0~5 V / 4~20mA |
| Elektriksel Arayüz | 9 pinli D Konnektör (erkek) / DeviceNet Konnektörü |
| Mekanik Parametreler | |
| Vana Tipi | Normalde kapalı (MFM anlamsız) |
| Altlık Malzemesi | 316L paslanmaz çelik |
| Sızdırmazlık Malzemesi | Kauçuk conta/Metal conta |
| İşlem bağlantıları | VCR / IGS Bağlantı Elemanları |
EDC-510A/B Boyut ve Ağırlık
EDC 510/A MODEL BOYUTU
EDC 510/B MODEL BOYUTU
| Model | A | B | C | D | H | E | F | G | M | Ağırlık |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| EDC-510A | 74 | 106 | 92 | 31 | 125 | 92 | 22 | 7 | 5.8 | 0.6 |
| EDC-520A | 74 | 106 | 92 | 31 | 125 | 92 | 22 | 7 | 5.8 | 0.6 |
| EDC-510B | 74 | 106 | 92 | 31 | 120 | 92 | 22 | 7 | 5.8 | 0.6 |
| EDC-520B | 74 | 106 | 92 | 31 | 120 | 92 | 22 | 7 | 5.8 | 0.6 |
Tamamen metalden yapılmış, sızdırmaz gaz akış yolu
Yüksek bütünlüğe sahip, ultra yüksek saflıkta, tamamen metalden yapılmış akış yolu, 4µ veya 10µ inç Ra yüzey işlemi seçeneği, uzun süreli etkili sızdırmazlık performansı ve korozyona dayanıklı sensörler, yüksek sıcaklıklarda ölçüm sonuçlarının tekrarlanabilirliğini artırarak prosesin saflığını sağlar. Biosflow'da bilgi almak için bizimle iletişime geçebilirsiniz.
Yüksek Güvenilirlik ve Performans
Yüksek performanslı bileşenler, güvenilirliklerini sağlamak amacıyla yarı iletken endüstrisi standartlarına uygun olarak yedi kez üst üste test edilir; bu da yarı iletken endüstrisi standartlarının üzerinde bir güvenilirlik seviyesi sağlayarak tekrarlanabilir ölçüm sonuçları ve uzun süreli kullanımda son derece istikrarlı performans garanti eder.
Yeni Nesil Sensör Tasarımı
Yenilikçi sensör tasarımı, sıcaklık ve basınç değişikliklerinden az etkilenme, doğru sıcaklık ve basınç düzeltmesi, yüksek doğrusallık, düşük ayar noktası koşullarında ölçüm ve kontrol doğruluğunu artırmak için mükemmel sinyal-gürültü oranı performansı sağlar. Uzun süreli sıfır noktası kararlılığı.
Çoklu gaz ve kanat açıklığı ayarlama fonksiyonları
Farklı gaz ve akış aralıklarının ihtiyaçlarını karşılamak için tek bir cihaz platformu seçin, birden fazla gaz kalibrasyon bilgisini saklayın ve önceden ayarlayın; kullanıcılar farklı gazlar ve aralıklar arasında kolayca geçiş yapmak ve envanteri azaltmak için yalnızca bir cihaza ihtiyaç duyar; yazılım veya PLC aracılığıyla, enstrümantasyonun sistemden ayrılmasına gerek kalmadan uygulanabilir.
EDC-500 Kütle Akış Kontrol Cihazı ve Ölçüm Cihazlarının Uygulaması
Epitaksiyel Proses Sistemi
Epitaksiyel işlem, bir alt tabaka üzerinde tamamen hizalanmış tek kristal tabakanın büyütülmesi işlemine atıfta bulunur. Entegre devrelerin üretiminde yaygın olarak kullanılan epitaksi yöntemi buhar fazlı epitaksidir. Epitaksi işlemi sırasında, reaksiyon odasına giren gaz akışının hassas bir şekilde kontrol edilmesi gerekir. Gaz besleme hattına MFC (Metal Akış Kontrol Ünitesi) takılabilir. MFC'nin kontrol parametreleri (akım veya basınç gibi) ayarlanarak, epitaksi işleminde gerekli olan kararlı ve doğru gaz akışını sağlamak için gaz akışının hassas kontrolü sağlanabilir.
Fotovoltaik Endüstrisi
Güneş pillerinin hazırlanması sırasında, öncü gaz ve ince filmlerin hazırlanmasında kullanılan koruyucu gaz gibi belirli miktarda gazın sağlanması gerekir. MFC (Mekanik Akış Kontrol Cihazı), güneş pili üretim sürecinin kararlılığını ve tekrarlanabilirliğini sağlamak için bu gazların akışını kontrol etmek amacıyla kullanılabilir. Akış cihazları, geleneksel silikon bazlı güneş pillerinde kristal silikon levhaların uygulama katmanında ve ikinci nesil amorf silikon bazlı ince film güneş pili bileşenleri olarak esnek alt tabakalar üzerine ince katmanların üretiminde kullanılır.
Buhar Biriktirme Sistemi
Buhar biriktirme, yaygın olarak kullanılan bir ince film hazırlama teknolojisidir. Gaz öncüsü reaksiyon odasına gönderilir ve kimyasal reaksiyon veya fiziksel işlem yoluyla alt tabakanın yüzeyine biriktirilerek ince bir film oluşturulur. Kütle Akış Kontrol Cihazı (MFC), reaksiyon odasındaki gaz konsantrasyonunun ve akışının kararlılığını sağlamak için önceden ayarlanmış gaz akışına göre buhar biriktirme işlemi sırasında gaz akışını doğru bir şekilde kontrol edebilir. Biosflow, EDC-500 serisi Kütle Akış Kontrol Cihazının profesyonel üreticisidir.
